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6517B静电计/高阻表是一款由美国吉时利（Keithley）公司生产的高精度测量仪器，广泛应用于物理、光学、纳米技术和材料科学等领域。其卓越的性能、广泛的应用范围以及高精度的测量能力使其成为科研实验室灵敏测量的标准。以下是对6517B静电计/高阻表参数的详细介绍：

一、基本概述

Keithley6517B静电计/高阻表是一款半机架型的高精度测量仪器，融合了吉时利数十年的弱电测量技术知识。该仪器具有特殊的低电流输入放大器，能够可靠地测量极低电流、电荷以及高电阻值。同时，其内置±1kV的电压源具有扫描能力，简化了漏流测试、击穿电压测试和电阻测试等任务。

二、主要技术指标

1. 电阻测量

  测量范围：6517B的电阻测量范围非常广泛，从10Ω到200GΩ（甚至可达10PΩ，具体取决于测量方法和配置）。

  测量精度：低电阻精度优于1%，高电阻精度优于10%（使用特定的测量方法，如加电压测电流或加电流测电压，不直接显示阻值）。

  测量原理：采用变换电极法，实际上消除了样本的背景电流，并剔除背景电流的第一级和第二级漂移。通过连续重复这个过程，并根据4个最新电流测量结果的加权平均值计算出电阻。这种方法通常能够生成高度重复、准确的电阻（或电阻率）测量结果。

2. 电流测量

  测量范围：6517B的电流测量范围从1fA（包含噪声）到20mA，能够满足从极微弱电流到较大电流的测量需求。

  输入偏置电流：<3fA，确保了极低电流测量的准确性。

  输入端压降：<20μV，在测量极小电流时，能够最大限度地减少对被测电路的影响。

3. 电压测量

  测量范围：6517B的电压测量范围从10μV（数字分辨率极限，可能含有噪声）到200V，提供了高精度的电压测量能力。

  测量精度：由于采用了高精度的测量技术和放大器设计，6517B在电压测量方面也具有很高的准确性。

4. 电荷测量

  测量范围：6517B的电荷测量范围从10fC（数字分辨率极限，可能含有噪声）到20μC（或更高精度范围，如10fC到2μC），适用于需要精确电荷测量的应用场景。

  测量精度：由于电荷测量通常涉及到微小的电流和电压变化，6517B通过高精度的电流和电压测量技术，结合特殊的电荷测量算法，实现了高精度的电荷测量。

三、特殊功能与特性

1. 内置±1kV电压源

  功能：内置±1kV的电压源具有扫描能力，能够简化绝缘材料上的漏流、击穿和电阻测试及体电阻率（Ω-cm）和表面电阻率（Ω/square）的测量工作。

  优势：与外接电压源相比，内置电压源具有更高的稳定性和准确性，同时减少了连接和校准的复杂性。

2. 高输入阻抗

  数值：6517B的输入阻抗超过200TΩ，非常适合测量高阻材料和绝缘体。

  优势：高输入阻抗能够最大限度地减少被测电路中的电流泄漏和干扰，从而确保测量的准确性。

3. 低噪声

  噪声水平：6517B具有极低的噪声水平，如噪声低至0.75fA p-p（峰-峰），确保了对微弱信号的精确测量。

  优势：低噪声水平使得6517B能够在噪声环境下准确地测量微小电流和电压变化，提高了测量的灵敏度和准确性。

4. 高测量速度

  读数率：6517B的读数率高达425读数/秒，比同类型的静电计显著快。

  优势：高测量速度支持快速的低电平元器件测试，提高了测试效率和准确性。同时，也使得6517B能够实时地监测和记录被测电路中的电流、电压和电阻等参数的变化。

5. 可编程数字I/O和内置接口

  功能：6517B支持可编程数字I/O和内置接口，如GPIB、USB-TMC和LXI/以太网等。

  优势：这些接口使得6517B能够方便地与其他仪器和计算机进行连接和通信，支持自动化测试系统的构建和集成。同时，也方便了用户对仪器进行远程控制和数据采集。

6. 丰富的附件和选配功能

  附件：6517B提供了丰富的附件和选配功能，如8009型电阻率测试盒、选配插入式扫描卡等。

  优势：这些附件和选配功能进一步扩展了6517B的应用范围和灵活性，使得用户能够根据不同的测量需求和场景进行选择和配置。

四、应用领域与优势

6517B静电计/高阻表广泛应用于物理、光学、纳米技术和材料科学等领域，适用于研究单电子器件、高电阻纳米线和纳米管、聚合物以及电化学应用等。其高精度、高灵敏度和丰富的功能特性使得6517B成为这些领域中灵敏测量的标准。同时，6517B还具有操作简便、易于集成和维护等优点，为用户提供了高效、可靠的测量解决方案。

五、总结

6517B静电计/高阻表是一款性能卓越、功能丰富的高精度测量仪器。其电阻、电流、电压和电荷测量范围广泛且准确度高；内置±1kV电压源、高输入阻抗和低噪声水平等特性使得其在微弱信号测量方面表现出色；高测量速度、可编程数字I/O和内置接口等特性则提高了测试效率和自动化程度。因此，6517B静电计/高阻表在科研实验室、电子制造业以及通信与物联网等领域中具有广泛的应用前景和市场需求。

文章来源测试仪器